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无尘车间生产对于湿度控制是非常重要的条件之一，净化手术室价格，无尘车间、洁净室运作过程中一个常用的环境控制条件是相对湿度。半导体无尘车间、洁净室中的典型的相对湿度的目标值大约控制在30至50%的范围内，允许误差在±1%的狭窄的范围内，例如光刻区或者在远紫外线处理(DUV)区甚至更小而在其他地方则可以放松到±5%的范围内。

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    无尘车间能够分成下列好多个级別：1级、百级、千级、万级、十万级、三十万级、百1万级。每立方将低于0.5微米粒度的微尘总数操纵在3500个下列，净化手术室施工，就做到了国际性无尘规范的A1级。现阶段运用在射频收发器生产制造的无尘规范针对尘土的规定高过A1级，那样的高标准关键被运用在一些级别较高芯片生产上。微尘总数被严控在每立方1000个之内，这也就是业界别名级別中的万级。无尘车间详细地址的挑选应合乎有益生产制造、便捷生活、节约项目投资和经营费用的标准。无尘车间与交通出行主干路间隔宜50米之上。

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